다수의 프로브와 함께 사용하는 전자소자 검사장치. 각 프로브는 하측극 및 상측극을 갖는다. 상기 장치는: 프로브의 하측극을 수용하도록 구성된 하측극 영역의 어레이가 주위에 배치된 제 1 측면과 제 2 측면을 갖는 제 1 플레이트; 및 하측극영역과 스위칭 회로 사이에 비케이블형 전기경로를 제공하도록 배열되어 하측극 영역의 어레이 근처에 배치된 다수의 신호선 영역을 포함한다. 상기 스위칭 회로는 각 전자소자를 상측극 및 하측극을 통하여 검사회로에 순차 연결하도록 동작할 수 있다.