본 발명은 반도체용 기판 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다수의 기판(예: PCB 등)이 수납된 매거진이 위치되는 제1입출부, 제1입출부와는 별도로 낱개의 기판이 적층되어 위치되는 제2입출부, 제1입출부와 제2입출부에서 이송된 기판의 표면을 검사하는 제1검사부, 제1입출부에서 이송되어 제1검사부를 거친 기판을 입체적으로 검사하는 제2검사부, 제1입출부에 위치된 매거진의 기판을 제1검사부로 하나씩 이송시키는 제1이송부, 제2입출부에 위치된 기판을 제1검사부로 이송시키고, 검사된 기판을 다시 제2입출부로 이송시키거나 제1입출부에서 이송된 기판을 제2검사부로 이송시키는 제2이송부, 및 제2검사부를 거친 기판을 제1입출부로 이송시키는 제3이송부를 포함하여 이루어지고, 매거진에 수납된 다수의 기판은 물론, 적층된 낱개의 기판을 검사한다. 상기와 같은 본 발명에 의하면, 낱개의 기판은 물론, 매거진에 수납된 다수의 기판을 하나의 장치에서 검사할 수 있어 종래 별도로 제작된 각 장치들의 제작 및 설치에 관한 비용을 절감시키고, 작업 효율성을 향상시킬 수 있다.