선형(linear)의 광이 서로 수직 교차되는 조명광을 출사하는 광생성부, 상기 광생성부에서 출사된 광을 분리하는 빔스플리터, 상기 빔스플리터를 통과한 서로 수직 교차되는 조명광을 스캐닝 미러를 통해 스캐닝하고, 이를 대물렌즈를 통해 측정대상물에 조사한 후 반사 및 산란되는 광을 다시 전달하는 측정부 및 상기 측정부로부터 반사되는 광을 획득하여 대상물을 측정하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 시편 또는 패턴의 회전 없이 한번에 조명하고, 복수개의 스캐닝 미러가 독립적으로 스캐닝함으로써 고속으로 영상을 획득할 수 있는 이점이 있다.